Recuit
Mete wafer Silisyòm lan nan yon tib reyaksyon ki fèt ak vè kwats, ki chofe nan yon sèten tanperati lè l sèvi avèk yon gwo founo chofaj fil rezistans (tanperati a souvan itilize se 900-1200 degre, ki ka redwi a pi ba pase 600 degre nan kondisyon espesyal. ). Lè oksijèn pase nan tib reyaksyon an, yon reyaksyon chimik rive sou sifas wafer Silisyòm lan:
Si (solid) + O2 (gaz) → SiO2 (solid)
Répartition de impuretés te pwodwi pandan pwosesis recuit tou jwe yon wòl nan enpurte Absòbsyon, utilisant PSG adsorption ak fixation de odyòm ak Potasyòm ions pou retire malfezan ions sa yo.
Analiz de lyen jenerasyon polisyon: Lyen prensipal polisyon nan pwosesis sa a se rezidyèl oksijèn ak nitwojèn nan lyen oksijèn tèmik la.
Netwayaj BOE
Ekipman kalite BOE (5-liy) fant se yon aparèy entegre semi fèmen, kote silisyòm wafers yo mete nan panyen pa ekipman otomatik epi konvèti nan solisyon nan chak plas nan ekipman an atravè bra mekanik. Tank chimik la kontinyèlman ranplir ak pwodwi chimik ki koresponn yo ki baze sou konsantrasyon solisyon an ak regilyèman ranplase kòm yon antye. Likid dechè ranplase a dechaje nan sistèm dlo ize epi finalman antre nan izin tretman dlo egou pou tretman an. Se tank lave a netwaye ak dlo pirifye. Lè gen silisyòm wafers nan tank la, dlo pirifye dousman ajoute, ak sèl ki gen dlo ize otomatikman debòde nan sistèm koleksyon dlo ize a epi finalman antre nan plant tretman dlo egou pou tretman an. Tout pwodwi chimik yo nan fòm likid epi yo otomatikman distribye pa yon ponp dyafram. Sekans netwayaj la se: tank marinated * 2, lave dlo, pòs marinated (HCl / HF / DI), lave dlo, rale dousman, siye * 6, ak yon gwosè tank nan 720L.
1) lave asid
Yon solisyon asid dilye (3.15% HCl ak 7.1% HF) nesesè pou netwaye pite segondè. Fonksyon an nan HCl se sèvi ak Cl - nan iyon metal konplèks, pandan y ap fonksyon an nan HF se retire kouch oksid la sou sifas la nan wafer nan Silisyòm, fè li pi idrofob ak fòme Silisyòm konplèks H2SiF6 la. Pa kowòdone ak iyon metal yo, iyon metal yo detache soti nan sifas la nan wafer Silisyòm lan, diminye kontni an metal metal nan wafer Silisyòm lan. Se lave asid HF te pote soti pou 150 segonn yo retire kouch BSG la sou devan an ak kouch PSG sou do a. Apre lave asid, netwaye dlo pi bon kalite fèt.
HF+SiO2→SiF4+H2O
SiF4+HF→H2SiF6
2) Post marinated
Apre netwayaj apre, yo ta dwe itilize yon solisyon asid dilye (14.7% HF) pou netwaye pite segondè. Fonksyon HF se retire kouch oksid la sou sifas wafer Silisyòm lan, fè li pi idrofob ak fòme konplèks Silisyòm H2SiF6. Atravè konplexasyon an ak iyon metal, iyon metal yo detache soti nan sifas la nan wafer Silisyòm lan, diminye kontni an metal ion nan wafer Silisyòm lan.
Reyaksyon chimik ki fèt pandan pwosesis marinated la se jan sa a: SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O
Tanperati k ap travay nan tank la marinated se nan tanperati chanm, epi tan an marinated kontwole nan 100 segonn.
3) Siye
Transfere dousman rale pre dezidrate cristalline Silisyòm waf la nan yon tank siye, epi soufle lè cho a 90 degre leve, li desann sou wafer la pou siye, lè l sèvi avèk chofaj elektrik.
Pwosesis lave asid ki anwo a pral pwodwi gwo konsantrasyon dlo ize asid ki gen HCl ak asid fluoridrik (W21) ak gwo konsantrasyon dlo ize asid ki gen asid fluoridrik (W23), epi jeneralman asid netwaye dlo ize (W22, 24, 25). Se operasyon ki anwo a te pote soti nan yon machin netwayaj fèmen, ak pwosesis la lave asid pral volatilize yo pwodwi gaz fatra asid ki gen HCl ak HF (G6) ak gaz dechè asid ki gen HF (G7), ki pral kolekte nan tiyo epi voye nan gwo kay won lave gaz fatra asid pou tretman an.
ALD
Sèvi ak ekipman ALD pou depoze yon kouch Al2O3 sou sifas silisyòm wafers pou amelyore pasivasyon yo ak efè absòpsyon enpurte yo. Metòd prensipal la se reyaji gaz Al (CH3) 3 ak vapè dlo (H2O) pou jenere Al (OH) 3, ki konfòme yo ak sifas silisyòm wafers epi pwodui gaz metàn.
Ekwasyon reyaksyon prensipal la se:
Al(CH3)3+3H2O→Al(OH)3+3CH4↑
2Al(OH)3→Al2O3+3H2O↑
Ekipman ALD a se yon aparèy presyon negatif fèmen, ekipe ak yon inlet, priz, ak inlet/priz. Chofaj la se chofaj elektrik, ak ekipman an vini ak yon ponp vakyòm mekanik sèk san lwil oliv. Apre pwodiksyon kòmanse, bra robotik la voye selil batri yo nan ekipman ALD la epi fèmen pò manje a. Chalè nan yon sèten tanperati, evakye, epi pote presyon andedan ekipman an nan nivo ki nesesè pou pwodiksyon an. Lè w altènativman entwodwi prekursè gaz-faz TMA ak H2O pulsasyon nan chanm reyaksyon an, ak chimikman adsorption ak reyaji sou substra depo a, se yon fim depo AL2O3 pwodwi. Finalman, gaz la echapman metàn andedan ekipman an ranplase ak gaz nitwojèn, epi ekipman an vire sou otomatikman retire wafer Silisyòm lan.
Polisyon prensipal la nan pwosesis sa a se metàn gaz echapman (G8), ki se ekstrè pa yon ponp vakyòm epi trete pa yon silenn asye pur silan ki degaje konbisyon ak aparèy espre dlo.
Kouch devan
Prensip debaz la se sèvi ak limyè segondè-frekans egzeyat pou jenere plasma ki afekte pwosesis depo fim mens la, ankouraje dekonpozisyon, konbinezon, eksitasyon, ak ionizasyon molekil gaz, ak ankouraje jenerasyon gwoup reyaktif yo. Akòz prezans nan NH3, li fasilite koule ak difizyon nan gwoup aktif, ogmante to kwasans lan nan fim mens, ak anpil diminye tanperati a depo.
Reyaksyon chimik prensipal yo ki rive pandan depo PECVD fim oksid nitrure Silisyòm yo se:
SiH4+NH3+N2O→xSi2O2N4+N2↑+yH2↑
Ekipman fim pozitif PECVD a se yon aparèy presyon negatif fèmen, chofe elektrik, epi li vini ak yon ponp vakyòm mekanik sèk san lwil oliv. Pandan pwodiksyon, nitwojèn premye ranpli nan ekipman an, ak bra robotik la konplete loading wafer Silisyòm lan. Apre ekipman an rive nan presyon ekstèn, inlet la ak priz yo louvri, ak bato a grafit otomatikman antre nan ekipman an epi fèmen inlet la ak priz. Pase vakyòm epi fè plizyè chèk sekirite. Apre konfime sekirite, prezante silan ak gaz amonyak pou konplete kouch Silisyòm oksid nitwojèn andedan ekipman an. Apre kouch la fini, gaz rezidyèl nan tiyo espesyal gaz la ak ekipman yo egzeyate nan gaz nitwojèn, ak Lè sa a, inlet la ak priz yo louvri pou egzeyat. Apre refwadisman, antre nan pwosesis klasman an epi kontinye nan pwosesis ki vin apre a.
Analiz de Pwosesis Pwodiksyon Polisyon: Fòm prensipal la nan polisyon nan pwosesis pwodiksyon sa a se kouch gaz dechè (silan, depase gaz ri, depase amonyak, idwojèn, nitwojèn, elatriye) (G9), ki se premye trete nan konbisyon an asye pur silan. silenn nan sistèm bouyon pwovoke a, ak Lè sa a, egzeyate apre yo fin trete pa gwo kay won an espre.
Retounen kouch
Reyaksyon chimik prensipal yo ki rive pandan depo PECVD fim oksid nitrure Silisyòm yo se:
SiH4+NH3+N2O→xSi2O2N4+N2↑+yH2↑
Ekipman fim tounen PECVD a se yon aparèy presyon negatif fèmen, chofe elektrik, epi li vini ak yon ponp vakyòm mekanik sèk san lwil oliv. Pandan pwodiksyon, nitwojèn premye ranpli nan ekipman an, ak bra robotik la konplete loading wafer Silisyòm lan. Apre ekipman an rive nan presyon ekstèn, inlet la ak priz yo louvri, ak bato a grafit otomatikman antre nan ekipman an epi fèmen inlet la ak priz. Pase vakyòm epi fè plizyè chèk sekirite. Apre konfime sekirite, prezante silan ak gaz amonyak pou konplete kouch Silisyòm oksid nitwojèn andedan ekipman an. Apre kouch la fini, gaz rezidyèl nan tiyo espesyal gaz la ak ekipman yo egzeyate nan gaz nitwojèn, ak Lè sa a, inlet la ak priz yo louvri pou egzeyat. Apre refwadisman, antre nan pwosesis klasman an epi kontinye nan pwosesis ki vin apre a.
Analiz de Pwosesis Pwodiksyon Polisyon: Fòm prensipal la nan polisyon nan pwosesis pwodiksyon sa a se kouch gaz dechè (silan, depase gaz ri, depase amonyak, idwojèn, nitwojèn, elatriye) (G9), ki se premye trete nan konbisyon an asye pur silan. silenn nan sistèm bouyon pwovoke a, ak Lè sa a, egzeyate apre yo fin trete pa gwo kay won an espre.
Metalizasyon
1) Enpresyon
Pandan pwosesis enprime a, sispansyon an pi wo pase ekran an, epi grate a peze sou ekran an ak yon sèten presyon, sa ki lakòz ekran an defòme epi antre an kontak ak sifas wafer Silisyòm lan. Sispansyon an ekstrè epi li antre an kontak ak sifas wafer Silisyòm lan; Sifas wafer Silisyòm lan gen yon fòs adsorption fò, ki fòse sispansyon an soti nan twou may yo. Nan pwen sa a, grate a ap kouri, ak plak la may deja defòme, anba bon fòs restorasyon, pèmèt sispansyon an fèt san pwoblèm tonbe sou sifas la nan wafer nan Silisyòm. Silver keratin se yon keratin tankou keratin enprime te fè soti nan ajan ultra-amann ak segondè-pite ak poud aliminyòm kòm metal prensipal la, complétée ak yon sèten kantite lyan òganik ak résine kòm ajan oksilyè.
Premyèman, enprime elektwòd tounen ak siye: byen lokalize epi enprime keratin elektwòd la tounen (ki gen ladan pozisyon perçage lazè) (paste ajan) sou do a nan batri a, epi byen vit sèk li nan tanperati ki ba asire ke elektwòd la enprime pa domaje. pandan pwochen etap enprime a.
Dezyèmman, enprime ak siye liy kadriyaj amann sou do a: pozisyon avèk presizyon epi enprime keratin liy kadriyaj amann (paste ajan) sou do batri a, epi byen vit sèk li nan tanperati ki ba. Objektif prensipal la se kontakte substra Silisyòm lan, transmèt aktyèl, ak redope pou diminye rekonbinasyon konpayi asirans lan ak ogmante ogmantasyon.
Lè sa a, apre yo fin pase nan flipper a, selil batri yo ranvèrse soti nan do a devan an fè fas a anwo. Fè enprime elektwòd pozitif ak siye: byen pozisyon epi enprime keratin elektwòd pozitif (paste ajan) sou devan batri a, epi byen vit sèk li nan tanperati ki ba. Fonksyon prensipal li se fè ak transpòte aktyèl la kolekte pa liy yo kadriyaj amann nan sikui ekstèn oswa memwa.
Finalman, enprime ak siye liy kadriyaj amann devan yo: pozisyon avèk presizyon epi enprime keratin (paste ajan) nan elektwòd devan an sou devan batri a. Apre enprime, rete tann pou li antre nan gwo founo a SINTERING pou SINTERING solid, fòme yon bon kontak ohmik. Fonksyon prensipal li se kolekte aktyèl, ogmante kapasite absòpsyon limyè selil batri a, ak amelyore efikasite konvèsyon.
Tanperati seche sispansyon an pandan pwosesis seche ki anwo a se anviwon 200 degre. Pwosesis sa a pral jenere gaz òganik temèt (G10), ak polyan prensipal yo se ester alkòl tankou dodecane, kalkile kòm VOC. Gaz dechè òganik ki te pwodwi pandan pwosesis enprime a kolekte pa yon kapo koleksyon gaz epi trete pa yon seri de etap ki konekte bwat adsorption kabòn aktive, epi finalman egzeyate nan yon tiyo echapman. Kannal echapman an bezwen netwaye ak netwaye regilyèman pou kenbe efikasite absòpsyon li yo.
2) Sintering
SINTERING se pwosesis la nan SINTERING keratin prensipal la bon pòtay enprime sou yon wafer Silisyòm nan yon selil batri nan tanperati ki wo, sa ki pèmèt elektwòd la yo dwe entegre sou sifas la, fòme yon kontak mekanik fò ak bon koneksyon elektrik, finalman sa ki lakòz yon kontak ohmik. ant elektwòd la ak wafer nan Silisyòm tèt li.
Wafers Silisyòm enprime yo sintered lè l sèvi avèk yon gwo founo dife elektrik, ki divize an zòn tanperati diferan. Pandan pwosesis sintering la, silisyòm wafers yo fòme elektwòd anwo ak pi ba, ak tanperati sintering ki pi wo a se ant 700 ~ 800 degre. Pandan pwosesis sa a, solvang òganik yo tankou alkòl ester dodecane nan sispansyon an konplètman evapore pou fòme gaz dechè òganik (G11), ki kalkile kòm VOC. Lè sa a, li se konplètman boule ak trete pa bati-an aparèy gwo-tanperati ki degaje konbisyon gwo kay won ekipman an, ak ansanm ak gaz la dechè enprime, li se adsorbed ak trete pa yon seri de-etap konekte aktive bwat adsorption kabòn. Apre adsorption, li egzeyate nan tiyo echapman an.
3) piki elektrik
Apre sintering selil batri yo, metòd la dirèkteman enjekte transpòtè chaj (envèse piki nan aktyèl dirèk) yo itilize chanje eta a chaje nan idwojèn nan kò a Silisyòm, ki ka efektivman pasiv konplèks la dekonpoze bor oksijèn ak transfòme li nan yon ki estab rejenere. eta, finalman reyalize objektif la nan pouri anba tè anti limyè.
Anbalaj tès la
Apre yo fini pwodiksyon selil solè, yo pral itilize enstriman tès yo pou teste paramèt pèfòmans elektrik selil solè a (tankou mezire koub IV li yo ak to konvèsyon limyè). Apre tès la fini, batri a pral otomatikman divize an plizyè nivo dapre sèten estanda. Lè kantite selil batri nan yon sèten nivo rive nan limit espesifye a, aparèy la ap raple operatè a pou li retire yo pou anbalaj. Aparèy la tou gen yon fonksyon deteksyon fragman, ki san pèdi tan retire fragman lè dekouvèt, olye ke teste yo kòm pil konplè, sa ki lakòz selil batri fatra (S2).